x 化学课只上了四分之一化学老师依旧在飞速地讲着课的内容。
李泓泰抬了一下头才发现二氧化硅的性质已经讲完了现在课件上的内容是“热氧化工艺”。
“硅的热氧化法也是指硅与氧或水汽等氧化剂在高温下经化学反应生成二氧化硅。同时高压氧化也属于热氧化法。”
李泓泰看到这样的一段内容他已经知道下面化学老师要讲什么了“大概率是干氧氧化法和水气氧化法。”
“而干氧氧化法的生长机理是高温下的氧分子与硅片表面的硅原子反应生成起始层。”
“水气氧化法的生长机理是高温水气与硅片接触时水分子与硅片表面的硅原子反应生成起始层。”
这些知识点对李泓泰来说真的是已经熟背于心他可以把这些内容脱口而出。
除此之外李泓泰还知道关于热氧化工艺的另外一个知识点那便是“湿氧氧化法”。
“湿氧氧化法与干氧氧化不同之处是将干氧通入炉前先通过加热的高纯法离子水使氧气中携带一定量的水汽。因此在湿氧氧化中既有氧的氧化作用又有水的氧化作用。”
而台上的化学老师讲的内容也和李泓泰猜的一样。在讲完干氧氧化法和水气氧化法后老师也把李泓泰知道的课外知识——湿氧氧化法讲给了同学们听。
“其实所有的老师里能讲出最多我不知道的知识点的那还得属我的生物老师帕垂克朗。这也是名校硕士的含金量吧。”
化学老师很快开始讲起干氧使氧水汽三种氧化方式的比较。而从氧化速度上来讲干氧氧化的速度是最慢的而水汽氧化的速度是最快的而湿氧氧化的速度就是中间的那个。
从致密性来讲干氧氧化的致密性是最好的湿氧其次而水汽氧化的致密性则是最差的。
同时还有一点是需要强调的。就是干氧氧化和湿氧氧化的水浴温度都是九十五摄氏度而水汽氧化的水汽发生器的水温则是一百零二摄氏度。
这些知识点李泓泰自然也是知道的。在听化学老师讲这些知识点的时候无论是他的听课姿势还是他听课的思维都是非常放松的。
无意中李泓泰抬头看了一下挂在墙上的钟表。他曾听过一位老师抱怨道说学生们上课的时候观察钟表无疑是不耐烦的表现。但李泓泰对于这种观点却是不认同的。
“有时候就是课上的内容对于一些学生来说太容易了看一下钟表看一下已经讲了多久。这更多的是一种胸有成竹的表现。”
这节化学课还剩下最后的四分之一而化学老师也把干氧氧化湿氧氧化还有水汽氧化的区别给讲完了。
“氧化工艺的设备分为卧式炉和立式炉。卧式炉是硅片热处理中被广泛应用的设备尽管到九十年代这种炉很大部分被立式炉所取代。”
李泓泰看着幻灯片上面的内容在心中把这一段话给默念了出来。